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                    AHYR2110F_4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人

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                    • AHYR2110F_4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人

                    AHYR2110F_4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人

                    AHYR2110F_4軸真空直驅雙臂B型晶圓搬運機器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進口品牌。

                    產品描述


                    4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人
                    AHYR2110F_AHY系列半導體機器人
                     
                    • ● 高可靠真空隔離,從容應對高真空環(huán)境
                    • ● 電機直接驅動機器人運動,提升運行可靠性
                    • ● 高強度高剛性鋼帶傳動,實現(xiàn)手臂高傳動精度
                    • ● 采用閉環(huán)伺服控制,實現(xiàn)高精度位置控制

                    臂長

                    213.4mm

                      額定/最大負載

                     ≤1kg

                    搬運物

                    ≤Φ300mm晶圓

                    新時達眾為興AHYR4210F_4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人

                    關鍵詞:

                    新時達眾為興AHYR4210F_4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人

                    規(guī)格參數(shù)

                    新時達眾為興AHYR2110F_4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人